G-25XA型高精密光刻機(jī)

設(shè)備概述:

本設(shè)備是我公司專門針對(duì)各大專院校及科研單位對(duì)光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機(jī)，它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成
主要由高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、GCQ350Z型高壓水銀直流汞、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、防震工作臺(tái)和附件箱等組成。<span style="font-family:" font-weight:normal;"="">

多點(diǎn)光源（蠅眼）
可調(diào)光強(qiáng)的光欄

三點(diǎn)找平機(jī)構(gòu)
高精度X、Y、Z、Q調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣
  適用于Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光。
  2.結(jié)構(gòu)穩(wěn)定
  具有氣浮式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)；具有真空掩膜版架、真空片吸盤。
  3.操作簡(jiǎn)便
  采用翻板方式取片、放片；按鈕、按鍵方式操作，可實(shí)現(xiàn)真空吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能，操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡(jiǎn)便。
  4.可靠性高
  采用進(jìn)口（日本產(chǎn)）電磁閥、按鈕、定時(shí)器；采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件，使本機(jī)運(yùn)行具有非常高的可靠性。
  5.特設(shè)功能
  除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外，還可以為用戶定制專用承片臺(tái)，來(lái)解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開(kāi)所引起的版片無(wú)法對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題

主要技術(shù)指標(biāo)

1、設(shè)備能真空吸附5"×5"方形掩板,對(duì)版的厚度無(wú)特殊要求。

2、設(shè)備能適用于Φ100mm圓形基片（或100×100mm方形基片），基片厚度≤5mm,當(dāng)您的基片厚度≤1mm時(shí)，我公司為本機(jī)配置標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)（不另計(jì)費(fèi)），當(dāng)基片厚度＞1mm時(shí)，設(shè)備需配置專用承片臺(tái)（訂貨時(shí)用戶須說(shuō)明，費(fèi)用另議）。

3、照明：

光源：GCQ350Z型高壓水銀直流汞。

照明范圍：≤ф117mm曝光面積：Φ100mm

在Φ100mm范圍內(nèi),曝光不均勻性≤±4%，曝光強(qiáng)度：≥5mw/cm2（此指標(biāo)用紫外光源I線365nm測(cè)量）。

4、本設(shè)備采用進(jìn)口時(shí)間繼電器控制氣動(dòng)快門，動(dòng)作準(zhǔn)確、可靠。

5、本機(jī)為接觸式曝光機(jī)，可實(shí)現(xiàn)：

（1）硬接觸曝光：用管道真空來(lái)獲得高真空接觸，真空≤-0.05MPa。

（2）軟接觸曝光：接觸壓力可將真空降到-0.02MPa～-0.05MPa之間。

（3）微力接觸曝光：小于軟接觸，真空≥-0.02MPa。

6.曝光分辯率：本設(shè)備硬接觸曝光的分辨度可達(dá)2μm以上。

7.對(duì)準(zhǔn)：觀察系統(tǒng)為兩個(gè)單筒顯微鏡上裝二個(gè)CCD攝像頭，通過(guò)視屏線連接到顯視屏上。

成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事四川真空泵,四川光刻機(jī),四川氫氣爐生產(chǎn)及銷售批發(fā)工作的企業(yè),咨詢電話:13908187709,028-85730519,擁有技術(shù)裝備和獨(dú)特的設(shè)計(jì),具有豐富的專用設(shè)備裝配調(diào)試技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)。